Design, simulation, fabrication and characterization of mass microsensors embeddable to an implantable microvalve for glaucoma treatment. - Zalazar, Martín
La tesis se centra en el diseño, simulación, fabricación y caracterización de microsensores de masa desarrollados con tecnología MEMs (sistemas micro-electromecánicos) para la detección de proteínas. Se parte de un capítulo de modelado y simulación donde se desarrollan diferentes tipos de microsensores de masa utilizando resonadores piezoeléctricos además de un chip microtransponder para la energización de la microválvula. De ello se deduce un capítulo de fabricación donde se describe la producción y caracterización de los materiales utilizados y los microsensores de masa diseñados y simulados.